Về phương diện quy mô, các hình thức tổ chức lãnh thổ công nghiệp theo thứ tự từ nhỏ đến lớn là:

khu công nghiệp, điểm công nghiệp, vùng công nghiệp, trung tâm công nghiệp.

điểm công nghiệp, khu công nghiệp, trung tâm công nghiệp, vùng công nghiệp.

vùng công nghiệp, khu công nghiệp, trung tâm công nghiệp, điểm công nghiệp.

trung tâm công nghiệp, vùng công nghiệp, điểm công nghiệp, khu công nghiệp.