Tia lửa điện hình thành do

Catot bị các ion dương đập vào làm phát ra electron.

Catot bị nung nóng phát ra electron.

Quá trình tạo ra hạt tải điện nhờ điện trường mạnh.

Chất khí bị ion hóa do tác dụng của tác nhân ion hóa