Quá trình photoresist trong VLSI sử dụng ánh sáng có bước sóng như thế nào?17/25Quá trình photoresist trong VLSI sử dụng ánh sáng có bước sóng như thế nào?Ánh sáng có bước sóng dàiÁnh sáng có bước sóng ngắnÁnh sáng có bước sóng trong khoảng cả visible và ultravioletÁnh sáng có bước sóng trong khoảng cả ultraviolet và infraredGiải thíchChọn đáp án C