Quá trình etching trong VLSI có thể được sử dụng để tạo ra những thành phần mạch nào sau đây?12/25Quá trình etching trong VLSI có thể được sử dụng để tạo ra những thành phần mạch nào sau đây?Transistor MOSFETCác lớp bảo vệ waferCác tuyến dẫn và kết nối giữa các thành phầnĐèn LEDGiải thíchChọn đáp án C