Quy tắc tiếp điểm có liên quan đến việc gì trong quá trình chế tạo mạch VLSI?

Sử dụng các loại công nghệ mới

Sắp xếp vị trí của các thành phần trên wafer

Đảm bảo tính cách ly giữa các lớp trên wafer

Kiểm tra độ phản chiếu của wafer