Phương pháp chế tạo vật liệu nano từ dưới lên (bottom-up) là:

Là phương pháp tạo hạt nano từ các ion hoặc các nguyên tử kết hợp lại với nhau

Là phương pháp tạo vật liệu nano từ vật liệu khối ban đầu

Là phương pháp bốc bay laser

Là phương pháp quang khắc chùm tia điện tử