Nguyên tắc hoạt động của máy chạy khắc trong quá trình sản xuất wafer là gì?

Dùng sóng siêu âm để loại bỏ vùng không cần thiết

Sử dụng hóa chất để ăn mòn vùng không cần thiết

Sử dụng ánh sáng UV để khắc

Sử dụng nhiệt độ cao để làm mềm vùng không cần