Mask (bản mặt kính hoặc silicon) trong quá trình photolithography có chức năng gì?

Tạo các mạch mỏng trên wafer

Phủ lên một lớp photoresist

Chuyển đổi mô hình trên mask thành hình ảnh trên wafer

Kiểm tra chất lượng của wafer