Kỹ thuật E-Beam sử dụng một chùm electron có năng lượng cao để làm gì?

Cắt và mài wafer thành các chip nhỏ

Chuyển đổi mô hình trên mask thành hình ảnh trên wafer

Phủ lên một lớp photoresist trên wafer

Kiểm tra chất lượng của wafer