Dòng điện trong chân không sinh ra do chuyển động của:

Các electron phát ra từ catốt

Các electron mà ta đưa từ bên ngoài vào giữa các điện cực đặt trong chân không

Các electron phát ra từ anốt bị đốt nóng đỏ

Các ion khí còn dư trong chân