Đặc tính C-V trong VLSI được sử dụng để đo lường các thông số liên quan đến:

Điều khiển dòng điện trong mạch

Điều khiển dòng điện và điện áp trong mạch

Điện trường và sự thay đổi điện dung trong mạch

Điện áp và sự thay đổi dung tích trong mạch